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ASML的光刻机里有中国零件吗?为什么会受制于美

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目前顶尖的光刻机只有荷兰的ASML公司能够生产,那么在其光刻机里有没有中国的零件呢?肯定还是有的,但只是一般性的零件,并没有重要的或者说不可替代的部件。既然光刻机是荷兰

目前顶尖的光刻机只有荷兰的ASML公司能够生产,那么在其光刻机里有没有中国的零件呢?肯定还是有的,但只是一般性的零件,并没有重要的或者说不可替代的部件。既然光刻机是荷兰生产的,与美国有什么关系,为什么又会受到美国影响呢?

一、我国半导体受制于高端光刻机

在芯片的产业链环节中,至为重要的一环就是芯片生产,又叫晶圆代工,目前全球晶圆代工前五名是台积电、三星、格芯、联电、中芯国际。

台积电、联电是台湾的,三星是韩国的,格芯是美国的,而中芯国际是中国内地的,从国产化的方面来看,现在中芯国际代表了国内晶圆代工的最高水平,但芯芯国际的市场份额与台积电、三星等公司依然有明显的差距。

除了市场份额的差距外,技术工艺也存在差距。台积电与三星已经可以批量代工5NM的芯片,而中芯国际在去年刚刚实现14NM制程的量产,现在正在加紧研发7NM芯片工艺,随着中芯国际14NM芯片技术的不断成熟,华为也将大量的14NM芯片代工订单转至中芯国际,给予大力的支持。

但问题是7NM以上的工艺用DUV光刻机就可以生产,而7NM以下的工艺需要用引入极紫外光(EUV)光刻技术,而目前全球只有荷兰的ASML公司能生产EUV光刻机,中芯国际在2018年就从ASML订购了一台EUV,由于美国从中作梗,因种种原因,直到现在都还没有交货。

二、EUV光刻机只有荷兰ASML能生产

中国其实也有光刻机,但是技术与ASML的差距还是比较大的,目前中国目前性能最好、已成熟商业化运用、具备完全自主知识产权的量产化光刻机产品,仍然停留在90nm水准,也就是上海微电子的SSA600/20型90nm光刻机。

在2018年底,国内在22NM光刻机的光源上取得了突破,但ASML的7nm极紫外光源模组的成本是3000万美元,而国产22nm所需紫外光源仍是汞灯,成本仅数万元。差距还是明显的,在真正的高端光刻机方面还需进一步研发突破。

而在极此外光EUV光刻机方面,目前全球只有荷兰的ASML公司能够制造,而台积电、三星公司则是ASML长期客户,这使得他们的晶圆代工业务能够保持领先,包括苹果的最新A系列芯片、华为及高通的最新高端芯片,都是台积电代工生产的。

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